您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图5359人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《西游:笔绘西行》斗战胜佛(CV:张磊)台词语音纯享
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《西游:笔绘西行》斗战胜佛(CV:张磊)台词语音纯享超百万字原创剧情,国漫番剧式动画,演绎师徒几人修成正果后的新篇章;邂逅国漫风百态仙妖,解开每位角色不为人知的前尘往事;结缘相伴,共同踏上新的西行之路...
阅读更多
《刀剑神域 碎梦边境》中文预告公布 将于年内发售
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《刀剑神域 碎梦边境》中文预告公布 将于年内发售《刀剑神域》各作角色将齐聚一堂展开战斗,玩家可加入由四人组成的队伍,并且最多可与来自全世界的二十名玩家所组成的五组队伍进行合作战斗。近日,《刀剑神域 碎...
阅读更多
《异星开拓者 太空基地建造》Steam开启抢先体验!
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《异星开拓者 太空基地建造》Steam开启抢先体验!玩家将成为一座太空基地的负责人,面对极为严酷的外星环境,不但要努力生存下去,还要尽可能的发展,让基地逐步走向兴盛。由Rogue Duck工作室制作的...
阅读更多