您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图6824人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《双截龙外传:双龙出海》公布DLC“群英荟萃”上线宣传片
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《双截龙外传:双龙出海》公布DLC“群英荟萃”上线宣传片在《双截龙外传:双龙出海》“群英荟萃“DLC中,包含柳生乱藏、陈清明和李索尼三个可玩角色、对战模式、生存模式、联机合作以及六个附加模式可解锁关卡...
阅读更多
击退来犯的外星敌潮!塔防射击游戏《哨卫计划》上线Steam
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片击退来犯的外星敌潮!塔防射击游戏《哨卫计划》上线Steam《哨卫计划》游戏中,玩家需要从外星人的袭击中保卫自己的飞船。在计划航行路线,穿越外星人围追堵截的同时,利用陷阱、炮塔或破环场景,击退来犯的外星...
阅读更多
全套内丹免费送!内丹专服【丹心如故】今日开启!
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片全套内丹免费送!内丹专服【丹心如故】今日开启!【丹心如故】专属福利红包满堂来啦!新手少侠在活动期间完成任务,即可膨胀红包,增加红包金额,4月18日维护后即可领取红包奖励,还等什么呢,快来拿红包吧!以元...
阅读更多