您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图76187人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
桃花迎春,江湖新喜《剑侠世界3》桃花主题奇兵抢先首曝
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片桃花迎春,江湖新喜《剑侠世界3》桃花主题奇兵抢先首曝辞旧迎新,共启新程!《剑侠世界3》春节江湖即将焕然一新。诚邀各位少侠齐享新春之乐,一同体验焕新真江湖!江湖二月春将至,桃花锦簇颂春来!西山居《剑侠世...
阅读更多
云顶之弈11.16六破败薇恩怎么玩 云顶之弈11.16版本六破败薇恩阵容攻略
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片云顶之弈11.16六破败薇恩怎么玩?云顶之弈11.16版本中薇恩的攻击力增强了,搭配6破败羁绊,叠满后的VN可以获得105的额外攻击力和105的法术强度。因此六破败薇恩阵容的强度非常高。以下是99单机...
阅读更多
多重福利活动助力,《荒野迷城》2月8日正式上线!
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片多重福利活动助力,《荒野迷城》2月8日正式上线!开服期间,游戏福利拉满,具体内容还请各位玩家在公测2月8日当天进入游戏体验,末日来临,您也可以和好友一起来趟畅快激情的末世之旅!末日题材SLG手游《荒野...
阅读更多