您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图2619人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
伪八代还是强无敌 《街头篮球》春节超特哈托尔战力猜想
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片伪八代还是强无敌 《街头篮球》春节超特哈托尔战力猜想八代的另外一个标志就是永久专属啦啦队,这应该是另外一个特色了,对于实战还是有一定的影响,投篮成功率加成:5.2%以及盖帽成功率加成:5.2%可以说还...
阅读更多
SpaceX龙飞船将搭4名宇航员重返地球 预计降落在佛罗里达州附近海域
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片快科技3月12日消息,据媒体报道,SpaceX旗下的“龙”飞船将搭载着4名宇航员于美国东部时间11日脱离国际空间站,重返地球。此次的Crew-7号任务成员于上周六早晨,乘坐SpaceX Falcon...
阅读更多
《剑星》"百合"和"艾德姆"角色预告公布
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《剑星》"百合"和"艾德姆"角色预告公布莉莉是第五空降小队的一名工程师,在之前的一次远征中被派往地球。亚当是一个在满目疮痍的土地上游荡的拾荒者,他整天都在收集资源,帮助锡安城及其残存的人类居民维持生计...
阅读更多