您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图54人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《双人成行》前所未有2.5折折超值促销49.5元出售
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《双人成行》前所未有2.5折折超值促销49.5元出售《双人成行》自发布以来,凭借其独特的游戏设计、创新的合作机制和丰富的故事情节,赢得了广泛的好评。2024年2月10日 — 在这个寒冷的冬...
阅读更多
乌尔善新片《郑和下西洋》2026年上映 今年第四季度开拍
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片华夏电影董事长赵海城在接受《中国电影报道》采访时透露,由乌尔善执导的电影《郑和下西洋》计划今年第四季度开拍,明年全年用于制作,2026年上映。影片改编自真实历史郑和下西洋,由《封神三部曲》导演乌尔善执...
阅读更多
雷军的烦恼:担忧小米SU7卖得太好 产能跟不上
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片3月25日消息,从今天开始,小米汽车将陆续抵达小米零售店(28日前静态品鉴)。雷军提出了“小米SU7上市即交付,交付即上量”的要求,将首年销售目标定为10万辆,旨在进入行业第一阵营,未来15至20年争...
阅读更多