您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图556人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
横版枪战动作《决战效应:重装上阵》Steam免费推出
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片横版枪战动作《决战效应:重装上阵》Steam免费推出《决战效应:重装上阵》是得到Paradox Interactive授权的粉丝作品,是《地狱潜者2》开发商Arrowhead Game Studios...
阅读更多
构筑类卡牌《Balatro》成2024年Steam好评率最高游戏
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片构筑类卡牌《Balatro》成2024年Steam好评率最高游戏据数据统计网站Steam250显示,《Balatro》成为了2024年在Steam发售的好评率最高游戏。另外,作为一款独立游戏,《Bal...
阅读更多
动作冒险新作《生灵之境:亚娃》宣传片发布 年内发售
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片动作冒险新作《生灵之境:亚娃》宣传片发布 年内发售玩家需要在游戏中驯服各种生物,从一场吞噬众多生命的传染病中拯救这个世界,本作将于2024年在XSX丨S、PC平台发布,并加入XGP。《生灵之境:亚娃》...
阅读更多