您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图19573人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《崩坏:星穹铁道》2.0版本“假如在午夜入梦”前瞻回顾
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《崩坏:星穹铁道》2.0版本“假如在午夜入梦”前瞻回顾《崩坏:星穹铁道》2.0版本“假如在午夜入梦”将于2月6日正式上线,新5星角色黑天鹅、花火,4星角色米沙即将登场《崩坏:星穹铁道》2.0版本&ld...
阅读更多
华纳首席执行官透露《霍格沃茨之遗》销量已突破2400万套
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片华纳首席执行官透露《霍格沃茨之遗》销量已突破2400万套虽然华纳兄弟游戏和Avalanche Software尚未确认续作正在开发中,但华纳兄弟游戏的总裁David Haddad曾说过,“和哈利波特相...
阅读更多
AMD最新两款支持FSR 3.0游戏:《如龙7外传》和《塔罗斯的法则2》
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片AMD最新两款支持FSR 3.0游戏:《如龙7外传》和《塔罗斯的法则2》这一信息直接来自AMD在CES 2024大会上展示的幻灯片,公布了未来将支持FSR 3.0的游戏。与在2023年12月的前一份榜...
阅读更多