您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图28人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
PUBG更新29.1版本 荣都地图中添加了“地形破坏”功能
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片PUBG更新29.1版本 荣都地图中添加了“地形破坏”功能本次更新将PUBG: BATTLEGROUNDS2024年工作计划中所提到的“地形破坏”功能加入到了荣都地图中。KRAFTON宣布已将PUBG...
阅读更多
开放世界类型《鸣潮》5月23日定档公测
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片开放世界类型《鸣潮》5月23日定档公测《鸣潮》是库洛游戏自主研制的二次元开放世界动作游戏,主打高自由度的动作战斗玩法与丰富多样的开放世界探索。《鸣潮》是库洛游戏自主研制的二次元开放世界动作游戏,主打高...
阅读更多
别慌!蜜雪冰城回应涨价1元:尚未全国推广
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片快科技3月19日消息,近日,有网友爆料,上海的蜜雪冰城饮品均涨价了1元。对此,蜜雪冰城的工作人员回应称:涨价情况确实属实,但目前只在上海普陀区、静安区、虹口区等七个区域试行。据悉,这一价格调整是在充分...
阅读更多