您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图46269人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《英雄联盟》14.4补丁上线后将不再支持Win7/8
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《英雄联盟》14.4补丁上线后将不再支持Win7/8在去年年底的开发者日志中,官方就表示将从14.4开始不再支持这三个版本的操作系统,并希望玩家在这俩月的时间里尽快升级到新的操作系统。《英雄联盟(Le...
阅读更多
清剿蜘蛛游戏《Kill It With Fire 2》上架Steam 支持中文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片清剿蜘蛛游戏《Kill It With Fire 2》上架Steam 支持中文发动跨越时空的蜘蛛战争,消灭多元宇宙中的每一只蜘蛛,或者跳入蜘蛛狩猎PvP模式,首次以八条腿的威胁角色出场!由Casey...
阅读更多
《铁尾传奇2》上架Steam 击败古老且渴求鲜血的邪恶势力
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《铁尾传奇2》上架Steam 击败古老且渴求鲜血的邪恶势力玩家扮演废土守护者的年轻继承者亚洛,前往北方幅员辽阔、白雪肆虐的土地展开冒险进行史诗任务,彻底击败黑翼。近日,《铁尾传奇》续作《铁尾传奇2》正...
阅读更多