您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图8964人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
开放世界生存制作游戏《造作海岛》现已推出免费序章
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片由CodeManu和Endless Coffee进行开发、HypeTrain Digital负责发行的开放世界生存制作游戏《造作海岛(Thinkerlands)》,现已在Steam平台推出免费序章《造...
阅读更多
Vtuber题材文字冒险《谁是中之人》将于今年Q4发售
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片Vtuber题材文字冒险《谁是中之人》将于今年Q4发售故事背景设定在一家虚构的Vtuber经纪公司,负责人在办公室离奇丧命,嫌疑人锁定为六名持有钥匙的员工。「莉莉恩工作室」新作《谁是中之人》公布Ste...
阅读更多
《对马岛之魂:导演剪辑版》Epic/Steam已开启预购 国区售价414元
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《对马岛之魂:导演剪辑版》Epic/Steam已开启预购 国区售价414元本作的国区售价在全球各个国家及地区处于一个相对中间的水平,和新加坡、美国、以及中国香港等传统高价区已经相差无几。《对马岛之魂:...
阅读更多