您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图435人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《炉石传说》官推表示酒馆战棋暂时移除“土豆”
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《炉石传说》官推表示酒馆战棋暂时移除“土豆”围绕“土豆”这张卡构建的流派非常强力很不平衡,从前期强到后期,甚至对局中只要有元素,就会出现抢着“玩土豆”的局面,玩家们对此已抱怨许久。《炉石传说》官推01...
阅读更多
《最终幻想7:重生》正在开发新补丁改善性能模式画质
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《最终幻想7:重生》正在开发新补丁改善性能模式画质当 滨口直树 被问及是喜欢在质量模式还是性能模式玩游戏时,他表示:“我也喜欢在质量模式下玩其他游戏,因为我喜欢看到更好的画面。”《最终幻想7:重生》制...
阅读更多
制作人解释先选择《女神异闻录3》重制原因:呼声最高
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片制作人解释先选择《女神异闻录3》重制原因:呼声最高新妻良太表示他们在进行玩家调查时,《女神异闻录3》是重制呼声最高的游戏,因此在《女神异闻录5皇家版》发售后,该团队就接下了重制《女神异闻录3》的工作。...
阅读更多