您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图4人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
PS5进入生命周期后半程 粉丝关注第三部《FF7》是否会在PS5发售
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片PS5进入生命周期后半程 粉丝关注第三部《FF7》是否会在PS5发售也有网友表示,他们会在PS4上玩第一部,然后在PS5上玩《最终幻想7:重生》。但没有人真的想为了第三部游戏而去购买PS6,或者与黄牛...
阅读更多
春日活动开启CSOL下周版本前瞻
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片春日活动开启CSOL下周版本前瞻3月6日至3月27日,无期限超凡角色【羊驼】克莱尔、【蓝兔】泰莉莎限时返场。想要入手这两款超人气角色的战友千万要抓住机会了哦。进入3月,天气逐渐转暖,而《反恐精英Onl...
阅读更多
《绝地潜兵2》数据挖掘内容未来仅有部分会加入游戏
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片任何一款实时服务型游戏都少不了数据挖掘,玩家社区必然会想要提前知道游戏可能将推出的新内容,而最近热门的合作射击游戏《绝地潜兵2》的玩家也不例外。许多玩家不仅深入研究代码,而且还有一些人将这些挖掘的内容...
阅读更多