您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图5人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《罗布乐思》更新市场卖家要求:不再需提交申请
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《罗布乐思》日前宣布了更新市场卖家要求,现在卖家不再需要想开发商提交申请。此后,用户必须遵守 4 项要求才有资格在市场上进行销售。其中包括内容创作者必须验证真实身份,并且订阅该平台的每月 9.99 美...
阅读更多
视觉小说《甜蜜夏日 ~Perfect Edition~》现已上线Steam
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片视觉小说《甜蜜夏日 ~Perfect Edition~》现已上线Steam游戏是一个多选项、单结局的视觉小说,时长约5个小时。游戏背景是主角从喧嚣的大城市搬到了一个群山环绕和蔚蓝的大海所包围的地方。由...
阅读更多
开放世界RPG《猫咪斗恶龙3》全新玩法及开场动画展示
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片开放世界RPG《猫咪斗恶龙3》全新玩法及开场动画展示游戏发生在一个叫喵勒比的海盗王国,玩家可以在这个2.5D的开放世界中扮演一位海盗喵,探索这片群岛,寻找传说宝藏北极星。开放世界RPG动作游戏《猫咪斗...
阅读更多