您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图243人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《博德之门3》确认将联动《吸血鬼幸存者》
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《博德之门3》确认将联动《吸血鬼幸存者》《博德之门3》和《吸血鬼幸存者》的联动其实早有暗示,让我们期待他们强强联合后的新内容吧。拉瑞安创始Swen Vincke 发起了一个投票,询问《博德之门3》是否...
阅读更多
《中国式相亲》将于暑期发售 情人节开启玩家测试
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《中国式相亲》将于暑期发售 情人节开启玩家测试《中国式相亲》是一款都市背景的角色扮演游戏,结合了模拟经营及文字冒险等玩法。作为一位涉世不深的返乡单身小伙,你将接手家族相亲产业近日,由Wave Game...
阅读更多
《我的世界》官方宣布将对狼类生物实施大升级
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《我的世界》官方宣布将对狼类生物实施大升级此次游戏更新将为狼增添更多按种群生态风格区分的个性化外观,全新的8款外观旨在打破原有单调的灰白色系,使游戏更具活力。作为世界上最受欢迎的全年龄向游戏之一,《我...
阅读更多