您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图1人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《女神异闻录:夜幕魅影》二游化的P5 这次还能不能“天下第一”?
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《女神异闻录:夜幕魅影》二游化的P5 这次还能不能“天下第一”?P5X的挑战是严峻的,joker等人气角色卡池结束,P5老玩家们能不能留下来?如何平衡好商业化和原版游戏体验?随着游戏长线运营,这样的问...
阅读更多
《城市:天际线2》为DLC提供退款 并承认让玩家感到失望
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片P社的模拟城市建造游戏《城市:天际线2》自去年10月发售以来一直争议不断,上个月推出的付费DLC“海滩资产包”更是一上线就收获特别差评。近日开发商Colossal Order的首席执行官Mariina...
阅读更多
《哥斯拉大战金刚2:帝国崛起》发布终极预告 3月29日上映
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片今日(3月26日),《哥斯拉大战金刚2:帝国崛起》发布终极预告,地心世界危机升级,不仅有哥斯拉金刚联手抗敌,摩斯拉也归来加入泰坦巨兽激烈团战宣传片:该片由亚当·温加德执导,丽贝卡·豪尔、布莱恩·泰里·...
阅读更多