您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图43人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《我的世界》×《功夫熊猫》联动DLC宣传视频公布
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《我的世界》×《功夫熊猫》联动DLC宣传视频公布游戏特别设计了一个充满动感的地图,其中包含了电影中的激烈战斗和决战场面,并且还提供了多人游戏模式。《我的世界(Minecraft)》公布联动《功夫熊猫》...
阅读更多
应龙赐福!《大话西游2经典版》2024年贺岁锦绣“龙行九州”正式亮相
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片应龙赐福!《大话西游2经典版》2024年贺岁锦绣“龙行九州”正式亮相龙举云兴,破渊赐福!2024年全新贺岁锦绣“龙行九州”全面曝光,2月1日即将在多宝阁以锦绣礼盒的形式限时上架,大话龙年贺岁奇珍,收藏...
阅读更多
宝可梦粉丝对《幻兽帕鲁》赞不绝口:做到了GF无法做到的东西
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片宝可梦粉丝对《幻兽帕鲁》赞不绝口:做到了GF无法做到的东西尽管《幻兽帕鲁》在发售前被广泛指责游戏的生物「帕鲁」抄袭《宝可梦》的设计,但喜爱《宝可梦》系列的人还是成群结队地涌向该游戏据dexerto消息...
阅读更多