您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图38人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《碧蓝幻想Versus:崛起》Steam售价下调 国区售价降至245元
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《碧蓝幻想Versus:崛起》Steam售价下调 国区售价降至245元不需要复杂指令,只要简单操作就能轻易上手的战斗,可谓是格斗游戏入门的正式版!战斗时和对手斗智、见招拆招的乐趣,所有玩家都可以轻松体...
阅读更多
超特腥红月虎浩燃免费领 全新版本引爆《街头篮球》
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片超特腥红月虎浩燃免费领 全新版本引爆《街头篮球》整个活动完全结束后成长页面会一同关闭,每周4上午7点刷新任务,比赛模式:3vs3匹配赛/俱乐部联赛正常完成。非凡英雄浩燃他来了!《街头篮球》3.21全新...
阅读更多
小米SU7试驾排至凌晨3点 雷军:一线的同学辛苦了
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片雷军在微博转发一则#小米汽车门店试驾排到凌晨#的报道时表示:“小米一线销售同学们辛苦了”。据国内媒体报道,小米汽车上市后首个周末,有门店客流近万,试驾排至凌晨3点。“试驾到凌晨3点结束,4点下班,6点...
阅读更多