您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图5人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
领先半年时间 英特尔率先组装ASML新一代光刻机
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片当地时间周四,美国芯片巨头英特尔宣布,已开始组装阿斯麦(ASML)的高数值孔径(High-NA)极紫外(EUV)光刻机,这是其超越竞争对手的重要一步。英特尔是首家购买阿斯麦新一代光刻机的公司,这台机器...
阅读更多
超命贵 《黑袍纠察队》第四季新预告及海报
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片今日(3月6日),《黑袍纠察队》第四季最新海报及新预告释出,祖国人、维多莉亚·纽曼人物海报亮相,同时公布维多莉亚·纽曼竞选视频片段,将于6月13日开播。宣传片:《黑袍纠察队》第四季中,世界正处于崩溃的...
阅读更多
dnf盖世英雄称号属性 dnf盖世英雄称号外观
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片地下城与勇士创世之书活动的奖励有很多,其中称号奖励是盖世英雄,不清楚盖世英雄称号的外观以及属性的玩家,请看下面99单机网小编带来的地下城与勇士创世之书活动奖励盖世英雄称号属性介绍和外观展示。地下城与勇...
阅读更多