您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图3人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《三角洲行动》最新预告公布 3月7日开启大规模PC测试
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《三角洲行动》最新预告公布 3月7日开启大规模PC测试永无止境的冲突和困扰,但我找到了... 济世良方。只是进步,是有代价的,他们还没准备好接受我。腾讯射击网游《三角洲行动》公布了最新预告视频,并宣布...
阅读更多
《黎明杀机》全新章节DLC“一切邪恶”预告视频公布
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《黎明杀机》全新章节DLC“一切邪恶”预告视频公布该章节包括了新的幸存者角色塞布尔·沃德,新的杀手角色未知恶物,全新的技能类型“祈祷”,以及新的地图格林维尔广场等内容。近日,多人在线生存恐怖游戏《黎明...
阅读更多
新一期Steam周销榜出炉:《绝地潜兵2》两连冠!
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片新一期Steam周销榜出炉:《绝地潜兵2》两连冠!由索尼发行的第三人称团队射击游戏《绝地潜兵2》保持第一,实现两连冠。《幻兽帕鲁》热度稍有下降但仍排名第三。新一期的Steam周销榜(2月13日-2月2...
阅读更多