您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图97人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
化身哲学家挑战电车难题 《哲学梗模拟器》试玩版上架
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片Gamera Games今天(4月19日)宣布,将会发行由HoHo Game Studio开发的哲学模拟游戏《哲学梗模拟器》,这款游戏也将加入到面向小型独立游戏开发团队的“叶绿素计划”当中。本作的试玩...
阅读更多
《勇敢的心:叶落归根》Steam页面上线 发售日待定
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片今日(4月20日),广受好评的游戏《勇敢的心:世界大战》的续作《勇敢的心:叶落归根》Steam页面上线,游戏支持简繁体中文,感兴趣的玩家可以点击此处进入商店页面。游戏介绍:随着《勇敢的心:世界大战》事...
阅读更多
中世纪幻想风经营新游《酒馆经理模拟器》Steam页面上线
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片中世纪幻想风经营新游《酒馆经理模拟器》Steam页面上线在本作中玩家可以管理您在幻想王国偏僻角落中的废弃酒馆,维修、改进、扩展您的经营,还能使用大量装饰物品和家具,打造独特氛围,满足众多客人的各种需求...
阅读更多