最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
顶: 88865踩: 55
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
人参与 | 时间:2024-12-25 01:17:06
相关文章
- 《时空中的绘旅人》「缱绻假日·煦色韶光」3月4日开启,与他一起体验滑板吧!
- 调查称印度上班族最爱装忙:43%时间在表演式工作
- 《绝地潜兵2》同时在线玩家上限45万人 以保证游戏稳定
- 马斯克成为全球最能赚钱的男人:今年平均每分钟赚146万
- 今年首批国产游戏版号正式公布,更多精彩游戏大作尽在2024 ChinaJoy BTOC 互动娱乐馆!
- 2024全年计划公开!《暗黑破坏神:不朽》春季版本“暗潮突围”定档3月27日
- 《地狱王座》发售宣传视频公布 现已上线Steam
- 《我的世界》官方宣布将对狼类生物实施大升级
- 《封灵档案》三周年庆典版本:"秘境蝶衣"主题宝匣活动上线
- 逆水寒史上最恐怖资料片来袭!特权网吧带你领取超多福利
评论专区