您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图4人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《绝地潜兵2》开发者愿意联动:但要符合游戏设定
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《绝地潜兵2》开发商 Arrowhead 最近讨论了在游戏中举行联动活动的可能性,表示他们有考虑过类似的想法并且有意愿与其他IP 合作,但前提是一切都要符合目前游戏中的设定。在官方 Discord 聊...
阅读更多
lol比翼双飞图标在哪领 英雄联盟情暖七夕比翼双飞图标领取地址
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片lol比翼双飞图标在哪领?英雄联盟国服2021年的七夕节活动开启,参与活动完成任务可以兑换比翼双飞图标。不知道在哪领取比翼双飞图标的玩家,下面99单机网小编带来了英雄联盟情暖七夕比翼双飞图标领取地址,...
阅读更多
《燕云十六声》定档7月26日,跳票送黄金!
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《燕云十六声》定档7月26日,跳票送黄金!随着7月26日的临近,无数玩家将会迎来他们期待已久的乱世之旅,让我们一起拭目以待。国产开放世界新游《燕云十六声》,现已正式宣布公测定档7月26日,并承诺绝不跳...
阅读更多