您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图23317人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《怪物猎人 Now》全球下载量已突破1500万!
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《怪物猎人 Now》全球下载量已突破1500万!为了热烈庆祝这一里程碑式的成就,游戏内特别开启了丰富多彩的庆祝活动,邀请所有玩家共同参与这场盛大的狂欢。《怪物猎人 Now》官方近期透露,这款备受瞩目的...
阅读更多
《绝地潜兵2》进入发售倒计时 《绝地潜兵》Steam新史低促销
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《绝地潜兵2》进入发售倒计时 《绝地潜兵》Steam新史低促销《绝地潜兵2》发售倒计时一个月之际,《绝地潜兵》现已在Steam平台开启新史低促销,普通版-80% 只要13.6元、豪华版 -80% 只要...
阅读更多
类恶魔城像素游戏《莫莫多拉:月下告别》今日登陆Steam
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片类恶魔城像素游戏《莫莫多拉:月下告别》今日登陆Steam为了查明钟声的来源,族长派遣村里首屈一指的祭司——莫莫·蕾诺尔前去调查。莫莫必须找出钟声响起的原因,进而保护歌赫村、保护重于一切的神圣“卢恩大树...
阅读更多