最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
顶: 1踩: 67138
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
人参与 | 时间:2025-01-02 11:53:42
相关文章
- 类银河恶魔城新作《Somber Echoes》发布新预告 秋季登陆Steam
- Xbox Series X将推出海绵宝宝主题特别同捆 3月7日限量发售
- 合作多人游戏《一起开火车!》限时促销 仅需22.5元
- 《最终幻想16》第二款DLC沧海恸哭时长约为10小时
- 《外卖是一定要送到的!》帮助外卖小哥排除艰险送外卖!
- 《阴阳师》待宵姑获鸟全新典藏·庆典皮肤上线,参与「冬境巡游」活动即可免费获得!
- Steam家庭共享机制上线 博主提醒玩家加入共享时要谨慎甄别
- 《星刃》总监透露:含RPG元素能改变主人公特质
- 《女神异闻录5:皇家版》官方美术设定集3月28日出版
- 喧嚣再起,心音共续《第五人格》六周年前瞻直播爆料回顾
评论专区