您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图3人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
射击游戏《机器人任务》限时促销 折后59.24元
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片射击游戏《机器人任务》限时促销 折后59.24元游戏中,玩家将操控一台机器人,在一个充满敌对机器人的世界中进行战斗,通过升级和策略来提高生存机会。热门射击游戏《机器人任务(Roboquest)》近日宣...
阅读更多
《阴阳师》神秘试炼来袭,修罗鬼童丸新皮肤上线
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《阴阳师》神秘试炼来袭,修罗鬼童丸新皮肤上线活动期间,参与挑战并自由选择御魂掉落种类,每日可享受50次御魂自选限定加成。银链锁定逃散的目标,暗红玫瑰在其衣摆绽放,隐匿的身影愈发清晰。狂气旋溢处,神秘挑...
阅读更多
305米的小行星“毁神星”5年后贴脸擦过地球:不排除撞击
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片快科技3月7日消息,以古埃及毁灭之神Apophis命名的小行星“毁神星”,天文学家早就知道它会在5年后与地球擦身而过,最新研究又表明,它有相当的几率与地球相撞。毁神星长相类似一颗花生,宽度只有约305...
阅读更多