您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图13365人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
《赛博朋克2077》续作将融合电影与游戏元素 提升视觉体验新高度
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《赛博朋克2077》续作将融合电影与游戏元素 提升视觉体验新高度随着新一代主机即将推出,UE5等技术的普及,以及CDPR对电影化质感的追求,我们有理由期待这款续作将带来震撼的视觉体验。CDPR的招聘页...
阅读更多
我国大功率氢能源机车研制获关键性突破:首次完成万吨装车
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片快科技4月5日消息,中国中车与国家能源投资集团携手,成功研制出我国首台大功率氢能源动力调车机车,并在新朔铁路巴准线四道柳站完成了万吨装车试验,这一重要突破标志着我国重载铁路大功率氢能源动力装备的市场化...
阅读更多
《洛奇》名品服饰 丹尼尔戴斯
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《洛奇》名品服饰 丹尼尔戴斯丹尼尔戴斯服饰手帕礼包中,还有许多时尚又有趣的道具,赶紧登录《洛奇》客户端亲自体验吧~爱琳世界著名品牌丹尼尔戴斯服饰,由丹尼尔戴斯品牌创始人亲自设计制作,充满工匠精神每一处...
阅读更多