您现在的位置是:ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片 >>正文
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片
亿美图2685人已围观
简介最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一...
最近ASML(阿斯麦)交付了第三代极紫外(EUV)光刻工具,新设备型号为Twinscan NXE:3800E,配备了0.33数值孔径透镜。相比于之前的Twinscan NXE:3600D,性能有了进一步的提高,可以支持未来几年3nm及2nm芯片的制造。
在ASML看来,Twinscan NXE:3800E代表了Low-NA EUV光刻技术在性能(每小时处理的晶圆数量)和精度方面的又一次飞跃。新的光刻设备可实现每小时处理195片晶圆的处理速度,相比Twinscan NXE:3600D的160片大概提升了22%,将来有可能提高至220片。此外,新工具还提供了小于1.1nm的晶圆对准精度。
即便用于4/5nm芯片的生产,Twinscan NXE:3800E也能提升效率,让制造商可以提高芯片生产的经济性,实现更为高效且更具成本效益的芯片生产。更为重要的一点,是Twinscan NXE:3800E对于制造2nm芯片和后续需要双重曝光的制造技术有更好的效果,精度的提升会让3nm以下的制程节点受益。
Twinscan NXE:3800E光刻机的价格并不便宜,机器的复杂性和功能是以巨大的成本为代价,每台大概在1.8亿美元。不过比起新一代High-NA EUV光刻机的报价,显然还是要低很多。此前有报道称,业界首款采用High-NA EUV光刻技术的TWINSCAN EXE:5200光刻机报价达到了3.8亿美元。
ASML还会继续推进Low-NA EUV光刻设备的开发,接下来将带来新款Twinscan NXE:4000F,计划在2026年发布,这凸显了ASML对EUV制造技术的承诺。
Tags:
相关文章
恋爱互动影游《自豪!美女全攻略》上架Steam 3月正式发售
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片恋爱互动影游《自豪!美女全攻略》上架Steam 3月正式发售《自豪!美女全攻略》作为一款真人互动恋爱影游。在这里玩家将化身为“躺平废柴”王自豪,透过第一视角,与六位风格迥异的真人美女展开一系列故事。近...
阅读更多
《我是鸽手》一款放鸽子题材的魔性放置游戏!
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片《我是鸽手》一款放鸽子题材的魔性放置游戏!放鸽子也可以作为游戏主题,不得不说是非常创新的。配合鸽子的角色造型、文案和故事剧情,十分诙谐搞笑,是一款能让人眼前一亮的放置游戏,推荐体验。《我是鸽手》是一款...
阅读更多
SE动作RPG《圣剑传说》首发将登陆XGP 年内发售
ASML已交付第三代EUV 可用于制造2nm芯片SE动作RPG《圣剑传说》首发将登陆XGP 年内发售值得注意的是,《圣剑传说》于去年12月首次亮相,并在近期的 Xbox 开发者直面会中推出最新预告片,该作计划在2024年发售,登陆PC,PS5和Xb...
阅读更多